随着IC制造中芯片键合、封装与测试、点胶、贴片及芯片取放、生物医学工程中的高速取样移液、工业自动化中的激光快速切割及零件组装、高速精密加工及高速扫描检测等领域的迅速发展，对直线运动系统的行程、速度、加速度、运动精度和力学特性提出了极高的要求，该团队研发了柔性直线运动系统的直驱技术，可解决上述技术难题。 该团队历时10余年研发了柔性直线运动系统，已获得3件发明专利，打破了国外技术垄断，独创了整机结构，自主开发了传感器、细分电路、内部电机系统、伺服控制器等。 该直线电机更适用于要求高频激励、高加速度、快速和高精度定位的控制系统中，具有伺服控制算法鲁棒性好，可在三维空间中以任意姿态投入使用；触碰灵敏度高，柔性接触工件表面，不会破坏工件；其最大直线运行速度可达到500mm/s，加速度为10-20g；定位精度可达0.1um，速度稳定性小于10%。 该产品可应用于半导体制造、数控加工、机器人、生化实验、光纤制备、生产测试等领域。