专利权人:苏州大学
大气压辉光放电等离子体是一种产生于大气压环境的均匀等离子体。通常情况下,气体气压越高,气体中粒子的平均自由程越短,能量会通过碰撞而快速损耗。因此在大气压下产生的等离子体一般呈现出丝状、不稳定的状态,很难产生均匀的辉光放电等离子体,这也限制了辉光放电在工业上大规模的应用。本项目提出一种可以用于材料表面处理的新型大气压放电装置,该装置具有以下优点:通过特殊地电极结构设计实现了在大气压条件下的辉光放电等离子体,更加均匀,材料处理效果优于丝状放电的等离子体;采用阵列式的结构设计,在实验室中实现了1100×30mm
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