薄膜厚度测试仪是适用于各种薄膜材料厚度精确监测的仪器，目前已经广泛应用于各类仪器当中，尤其是在一些国家重点投入和支持的科研领域中，如制备有机发光二极管（OLED）的真空热蒸镀仪、制备太阳能电池的真空热蒸镀仪以及一般的热蒸镀仪和溅射仪。薄膜厚度测试仪通过对蒸镀或者溅射出的材料的精确监测，可以直观地读出响应沉积的薄膜厚度。以OLED真空热蒸镀仪为例，大部分的蒸镀材料为有机材料和金属电极材料（如铝、银等金属）且最小厚度需要精确到0.1纳米，因此对薄膜厚度测试仪的厚度和速度分辨率有较高的要求。该项目研发的多通道QCM薄膜厚度测试仪（型号为DPM4c）具有超高灵敏度，拥有更多通道。在同级别产品中，其质量更高且价格更低廉。规格方面，该薄膜厚度测试仪拥有四个可同时使用的传感器，测量频率范围为在3-10 MHz之间，分辨率在6 MHz的条件下可达到0.025 Hz，频率稳定性小于1 ppm（1Hr），使用接口为标准的RS422和RS485接口。此外，该薄膜厚度测试仪拥有16个I/O Aux输出口，且具有晶振片异常检测功能。尺寸方面，该薄膜厚度测试仪的长、宽、高分别为270mm、200mm、68mm。