基于与传统IC工艺兼容的硅微纳结构加工技术，采用LabVIEW平台开发研制可编程脉冲电化学硅微加工平台，其工作温度-40℃~100℃，输出电压-48V~60V，发现硅微加工技术的基本原理，能图形化和规模化加工SiNWs和Si-MCP(硅纳米线和硅微通道板)等硅基微纳结构，SiNWs高度10μm-100μm/线径10nm-300nm可控；Si-MCP图形可光刻控制，壁厚1μm，深度250μm。开发出碱性条件下燃料电池型葡萄糖传感器。Pd/Ni/SiNWs电极葡萄糖传感器灵敏度302.2μAmM-1cm-2，检测限2.65μM；Pd-Ni/Si-MCP葡萄糖电化学传感器灵敏度81.4 mA mM-1，检测限5mM；Nafion/GOx/ZnO/SiNWs电极葡萄糖传感器灵敏度129 μA mM-1，检测限12 μΜ。