专利权人:河南师范大学
该“带针尖的微悬臂梁扫描器”,即可用于STM,也可用于原子力显微镜(AFM)等SPM。(1)当用于STM时,可以同时实现扫描器(scanner)和探针(Probe)的双重功能。且扫描器具有:①共振频率很高、共振频率范围很宽。10kHz~1000kHz,足以满足快速STM对扫描器的需要。②其品质因子在真空下可以达到几千甚至上万。具有很低的噪音、很低的能耗和很高的稳定性。③体积小。仅有0.1毫米量级,其驱动装置不大于5毫米,节省宝贵的测试空间。针尖可以实现:①针尖的曲率半径可以小到2纳米左右。可以提高STM的
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