一、成果概述： 为解决具有高深宽比特征的微型器件难以进行高精度测量的问题，研制了一种兼具有高精度、大量程、小测球、高稳定性及低成本等特点的微纳米测量探头。技术及产品特点： 1.只利用一个基于四象限光电探测器的二维角度传感器即可完成测球三维运动的高精度感测，有效的减小探头体积、简化探头结构、降低生产成本。与应变式、压阻式和电感式等传感器相比较，该二维角度传感器可以获得更高的灵敏度和精度。 2.自制备直径小于100微米的微球形钨探针，球度误差和偏心度小于1微米。克服了宝石球直径无法做到300微米以下和光纤探针脆性太大，测量时易被撞断的不足。二、应用领域： 仪器测量企业、生产加工工厂、实验室、计量院所等各种需要精密测量的场合，可作用在纳米三坐标测量机上。产能及主要经济技术指标： 1.钨测球直径小于100μm，测杆长5mm（可增减），球度为1μm。 2.探头的刚度在三轴方向基本相同, 约为1 mN/μm。 3.探头允许触碰范围超过12μm；灵敏度大于0.5 mV/nm。 4.探头的单方向触发测量重复性小于30 nm(K=2) 目前国内探头市场已经被Renishaw等少数几家国外仪器公司垄断，国内自研探头的市场尚处于空白状态。三、投入需求： 测头制备部分：高精度可调高压供电电源、钨丝、密闭环境箱、铍青铜簧片、化学腐蚀药剂 光路测量部分：激光器、四象限光电传感器、运算电路