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扫描光声(热波)显微镜

专利权人:南京大学

当固体物质受到周期性强度调制的光束照射时,物质吸收辐射能而受激发,然后通过非辐射去激励而将部分或全部吸收的光能转化为热能。周期性热流使周围的介质热胀冷缩,因而激发声波。检测声波信号可得到声波携带的热信号的振幅和相位,从而能分析样品在不同深度的结构、性质和参量,实现分层成象。可应用于半导体材料和器件(特别是集成电路)的研究、分层检测及其对生产工艺流程的控制等;层状或不均匀材料的分层研究和检测;各种固体残余应力的研究;生物(包括动物和植物)组织、大分子结构的分层研究和检测,组织损伤研究等。

具体了解该成果信息,请致电:025-89686645

当固体物质受到周期性强度调制的光束照射时,物质吸收辐射能而受激发,然后通过非辐射去激励而将部分或全部吸收的光能转化为热能。周期性热流使周围的介质热胀冷缩,因而激发声波。检测声波信号可得到声波携带的热信号的振幅和相位,从而能分析样品在不同深度的结构、性质和参量,实现分层成象。可应用于半导体材料和器件(特别是集成电路)的研究、分层检测及其对生产工艺流程的控制等;层状或不均匀材料的分层研究和检测;各种固体残余应力的研究;生物(包括动物和植物)组织、大分子结构的分层研究和检测,组织损伤研究等。