超声电机是一种新型的微电机，超声电机不同于传统的电磁电机：它没有磁场，不依靠电磁相互作用来转换能量，而是利用压电陶瓷逆效应和超声振动，将材料的微观变形通过机械共振放大和摩擦耦合转换成转子（旋转型）或滑块（直线型）的宏观运动。本项目已获得2013年度国家技术发明奖二等奖，获授权国家专利31项，研制了15种直线电机及4种精密定位平台，实现了大行程（20-100毫米）、高位移分辨率（<50纳米）、高定位精度(0.36微米)、高加速度（5－10g），已达到国际同类产品的先进水平，部分指标超过国际同类产品的先进水平。创新点及主要技术指标（1）结构简单、紧凑、转矩/重量比大（5-10倍）；（2）低速大转矩，可实现直接驱动（不需齿轮箱）；（3）响应快（毫秒级），控制性能好；（4）断电自锁（能获得较大的自锁力矩）；（5）不产生磁场，亦不受外界磁场干扰；（6）低噪声运行﹝45dB）；（7）可以在真空环境下工作（真空度可达10-6 Pa）；（8）形状可以多样化：圆的、方的、空心的等等。