专利权人：杭州电子科技大学

MEMS流量计为本质安全型，具有低功耗、超大量程、高精度、易于数据远传和网络化等特点，可用于各类气体及其它微流体（含液体）的流量和浓度的测量。在医疗设备、工业及商用天然气计量、工业生产气体控制、楼宇自控等方面得到了广泛的应用。目前已在集成电路、MEMS设计及微加工工艺方面，共获得12项已授权美国专利，基于这些技术成果，累计获得海外风险投资资金1000万美元。此种新型MEMS芯片具有自主知识产权，低功耗、超大量程MEMS气体流量计已开发出多个系列的产品，年产值已达上亿元。是国家标准GB/T20727-200

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