专利权人：沈阳工业大学

该技术是在单模式微波加热设备中加热非晶态的铁电、介电、导电和磁性薄膜，在提高陶瓷薄膜的功能特性同时, 可以大幅度降低陶瓷薄膜的结晶温度和时间，使高性能的功能陶瓷薄膜在500ºC的低温制备成为可能。

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