透明导电薄膜是指那种对可见光的平均透过率高（T ³80%）、电阻率低（ρ£10-3 Ωｃｍ）的薄膜，在太阳能电池、平板显示器、薄膜晶体管、气敏元件、抗静电涂层等领域具有广阔的应用前景。传统的透明导电薄膜是指氧化铟锡(俗称ITO)，ITO中其透过率和电阻率分别由SnO2与In2O3之比来控制，一般SnO2:In2O3=1:9。由于铟是一种稀缺金属，近年来人们一直在探索其他的替代材料。Zn是地壳中蕴藏量较丰富的一种元素，本项目采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜，对可见光平均透过率大于90％，电阻率低于5´10-4Ωｃｍ，具有广阔的应用前景。已发表科研论文十多篇。