在过去的20年，基于硅或玻璃衬底的各种OLED显示产品得到了完善和成熟，然而阻碍柔性OLED显示实用化的关键问题主要在于空气中的水氧对其产生致命的威胁。本项目从2008年以来在薄膜包覆领域开展研究，利用薄膜形成水氧进入器件的阻隔。这种方法使OLED器件更轻薄，寿命更长，机械性能更优异，是未来OLED器件封装的发展方向。本项目首次利用臭氧作为氧化剂在低温条件下制备原子层沉积封装Al2O3薄膜，通过研究发现，以臭氧为前驱体制备的的性能要比用水作为前驱体并且在低温条件下制备的薄膜更为优越， OLED寿命从而有了显著提高。我们的方法比采用传统方法的封装薄膜性能提高近56倍，为国内有报道的最高水平。另外本项目自主研制了水汽透过率测定装置，通过Ca电阻变化法，灵敏度达到10-7g/m2/day，突破了传统的美国MOCON标准中，水汽透过率只能测到10-3g/m2/day的限制，为开展高性能封装薄膜的研究奠定基础。新型沉积技术不仅可以在柔性薄膜技术中发挥作用，而且在易受空气中水氧影响的产品，例如：电子产品、药品、食品等包装等领域也会起到重要作用。发展柔性薄膜技术可以解决OLED实用化的瓶颈问题，还可以在其他有机电子器件领域，如有机光伏器件（OPV），有机薄膜晶体管（OTFT）器件等领域发挥重要作用。