本发明具体涉及一种MEMS液晶光衰减器阵列及制作方法。MEMS液晶光衰减器阵列由单晶硅衬底、入射光纤和出射光纤耦合阵列、填充聚合物分散液晶材料的液晶微槽组成，在硅基衰减器阵列中，将光纤对接耦合阵列结构与液晶材料衰减功能单元合并为一体，通过ITO透明导电电极施加电场控制聚合物分散液晶材料，可以实现对不同光通路中聚合物分散液晶材料的调制，从而实现对多个光通路的光的衰减，进而完成本发明MEMS液晶光衰减器阵列的目的。本发明属于光电子器件领域，其主要作用是用来减低或控制光信号。随着DWDM传输系统的EDFA在光通信中的应用，在多个光信号传输通道上必须进行增益平坦化或信道功率均衡，在光接收器端要进行动态饱和的控制，光网络中也还需要对其它信号进行控制，这些都得使可变光衰减器成为其中不可或缺的关键器件。