专利权人:西安理工大学
当前主流的离子镀技术中磁控溅射离子镀因镀料粒子绕镀性差而难以获得结合力好且厚度均匀的膜层、多弧离子镀因电弧放电易产生熔融态大颗粒喷溅至基体表面而影响膜层质量,这些严重制约了离子镀技术在精密机械制造业的进一步发展和多领域的推广。因此,改善镀层的组织结构和提高薄膜的综合性能成为了离子镀技术发展的关键。基于等离子气体放电的物理学知识和对薄膜性能影响的最终本质是沉积粒子自身特性与状态的理解,采用等通量变换原理和高频电压振荡技术构建宽脉冲强电离电场环境,辅助“闭合”和“非平衡” 磁场模式,将气体放电引入“双峰曲线”
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