本技术提供了一种基于超薄银膜的纳米多层透明导电薄膜及其制备技术，可以解决现有的基于银层的多层结构透明导电薄膜难以同时兼顾良好导电性和高透光率的问题。具体的是通过在银层制备前，先沉积一层超薄（0.5-3 nm）的CuOx层，利用其作为籽晶层，可以在更小的厚度实现连续银膜层制备，而银膜层更小的厚度使其具有更高的透明度，银膜层的连续性可以保证薄膜具有好的导电性。其具有柔韧性好、所需沉积温度低、可利用卷对卷技术在廉价塑料衬底上实现大面积低成本制备、可通过选择不同介质层来调节电极功函数等优点，作为透明电极可广泛应用于太阳能电池、平板显示、发光二极管及触摸屏等领域，尤其是在柔性电子器件领域更是具有独特的优势，具有广阔的市场应用前景。基于本技术所制备的所制备的多层透明导电薄膜可以在表面电阻低至10 Ω/□以下时，其在400-800 nm波段的平均光透过率仍高达90%以上。在5 mm的弯曲半径下弯曲100次后，其表面电阻的变化小于5%，光透过率几乎保持不变。