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近场声学悬浮驱动器

专利权人:香港中文大学

可跟随指定二维轨迹活动的自推进,自悬浮驱动器使用气浮轴承和磁悬浮轴承等非接触式驱动器,其好处包括高精度,低噪音,无摩擦磨损等,因而被广泛应用于精密机床,纳米级驱动与精密测量等领域。但这些驱动器有其局限性,例如复杂的设计,高昂的成本,有限的施工范围,电磁干扰,噪音以及对洁净气源的需求等。振动源在近场中产生的辐射力,可以用来提升和运输物件,是磁悬浮技术以外的另一种非接触式驱动技术。本研究提出了一种新型的自驱动,自悬浮平面运动机构,能够在二维方向无限距离走动,该机构利用了近场声学传播现象来提升物件,并利用耦合谐

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可跟随指定二维轨迹活动的自推进,自悬浮驱动器使用气浮轴承和磁悬浮轴承等非接触式驱动器,其好处包括高精度,低噪音,无摩擦磨损等,因而被广泛应用于精密机床,纳米级驱动与精密测量等领域。但这些驱动器有其局限性,例如复杂的设计,高昂的成本,有限的施工范围,电磁干扰,噪音以及对洁净气源的需求等。振动源在近场中产生的辐射力,可以用来提升和运输物件,是磁悬浮技术以外的另一种非接触式驱动技术。本研究提出了一种新型的自驱动,自悬浮平面运动机构,能够在二维方向无限距离走动,该机构利用了近场声学传播现象来提升物件,并利用耦合谐振带动物件往指定方向前进。结构简单,成本低,耗电量低无施工范围限制,无电磁干扰,无噪音频响的反应速度快,能快速跟从指示改变行走轨迹可应用于工件表面的非接触式探伤与检测,大尺度范围的表面激光加工,高洁净度或敏感工件表面上的非接触式物料运输等