本发明属于太阳能利用技术领域，具体公开了一种耐高温多层太阳能选择性吸收涂层及其制备方法。该吸收涂层由三层结构组成，顶层为Cr2O3减反层，中间层为氧含量渐变结构的CrAlON吸收层，底层为CrAlSiN红外反射层；其中，吸收层CrAlON成分如下：Cr : ?30~36?at.%，Al : ?14~20?at.%，O : ?12~28at.%，N : ?22~38?at.%?，氧含量由内到外逐渐增多；红外反射层CrAlSiN成分如下：Cr : ?13~21?at.%，Al : ?30~40?at.%，Si : ?6~10at.%，N : ?32~40?at.%。该涂层体系的顶层Cr2O3、中间层氧含量渐变结构的CrAlON涂层、底层CrAlSiN涂层均具有良好的高温硬度以及抗高温氧化性。本发明所述涂层具有吸收率高、发射率低、结合强度高、高温稳定性好的优点，并且在高达550℃时仍具有良好的光谱选择性吸收性能。