专利权人:岭南师范学院
一种TiZrAlSiON纳米复合超硬涂层刀具及其制备方法,属于薄膜材料技术领域,涂层刀具包括硬质合金刀具本体,刀具本体上涂镀TiZrAlSiON纳米复合涂层,TiZrAlSiON涂层包括50-100纳米厚金属打底层Zr金属层、100-200纳米厚氮化物过渡层ZrN、1000-4000纳米厚功能层TiZrAlSiON构成,该纳米复合涂层具有纳米晶颗粒镶嵌于非晶基体的纳米复合结构,纳米颗粒为TiN和ZrN,而非晶基体包括Al2O3和Si3N4,制备方法是对硬质合金刀具进行辉光清洗,弧光离子轰击,然后依次沉积打
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