专利权人：广东工业大学

一、研究领域:超精密数控装备、精密测量与补偿二、核心技术:①发明了一种宏微复合绝对式精密光栅尺，申请了40多项国内外发明专利，在绝对编码、减振、直写制造等技术方面初步形成了专利池。②发明了多种宏微复合精密运动实现技术与装置，可实现纳米分辨率、亚微米定位精度。③突破了静压导轨、超精密多轴数控系统、超精密在线检测与补偿等核心技术。④面向微电子、光电子器件超精密加工需求，研制了辊筒机、V沟机、五轴机床、阵列微压机等系列超精密数控装备。三、关键科学问题:①宏微复合超精密定位②超精密测量与误差补偿③超精密机床设计与

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