专利权人:广东工业大学
蓝宝石晶体材料因其优异的性能被广泛应用在相关领域,例如手机屏幕盖板玻璃、指纹识别保护盖板和镜头保护盖,以及高档手表的屏幕玻璃。被誉为“新光源革命”的基础材料,是第三代半导体材料最为重要的产业化基片。本技术利用蓝宝石对红外线透射率高的特点,并配置了一种高效的辅助液体,采用低成本红外纳秒激光对蓝宝石基片进行背向湿式刻蚀。采用该技术出的蓝宝石样品加工的质量优良,具有热影响区小,崩边和裂纹小的特点,经性能测试结果显示,完全可以满足使用要求。本技术主要是为蓝宝石基片提供了一种低成本加工的新方法、新工艺,与采用超过激
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