专利权人:太原理工大学
本项目是在化学气相沉积金刚石研究成果基础上,结合国家重点项目的需求和结合我省的产业优势,响应省委、省政府对于发展高新技术产业的政策方针及省科技厅发展“煤基低碳”高科技项目的号召而进行的科研课题。该项目利用煤层气中的主要成分-甲烷(CH4)和煤层气裂解或煤焦化排放的废气中的氬气(H2)作为反应气体,采用热丝或微波等离子体化学气相沉积法生产出高附加值的金刚石多晶片或金刚石单晶。并在此基础上,对金刚石产品的深加工方面进行了研究。目前,该项目已经在装备及工艺方面获得重大突破。实验室小型化生产的部分工具级、热沉级金
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