首页 > 成果展示
一种半导体器件表面清洗剂及其应用技术

专利权人:惠州学院

本发明技术研制的含氟清洗剂,由各种特征性的溶剂混合而成, 可满足各类半导体器件及仪器的清洗需求, 清洗效果优良。含氟清洗剂以含氟化合物作为溶剂,既有良好的清洗性能,又不易燃烧,安全性较高、环保、气味小、挥发快。既可除去半导体器件及电子设备表面的油污、焊渍、胶痕,又能除掉材料表面的灰尘、手指印等污物。同时,不腐蚀有机玻璃、金属、陶瓷、聚乙烯、尼龙等材料,因此,本含氟清洗剂适用于半导体器件、及电子、精密机械和光学、电机等元件的清洗。本清洗剂成份,含氟碳溶剂、氢氟醚、有机醇、表面活性剂、螯合剂和稳定剂等功能成份

具体了解该成果信息,请致电:15016006650

本发明技术研制的含氟清洗剂,由各种特征性的溶剂混合而成, 可满足各类半导体器件及仪器的清洗需求, 清洗效果优良。含氟清洗剂以含氟化合物作为溶剂,既有良好的清洗性能,又不易燃烧,安全性较高、环保、气味小、挥发快。既可除去半导体器件及电子设备表面的油污、焊渍、胶痕,又能除掉材料表面的灰尘、手指印等污物。同时,不腐蚀有机玻璃、金属、陶瓷、聚乙烯、尼龙等材料,因此,本含氟清洗剂适用于半导体器件、及电子、精密机械和光学、电机等元件的清洗。本清洗剂成份,含氟碳溶剂、氢氟醚、有机醇、表面活性剂、螯合剂和稳定剂等功能成份。清洗剂易燃性低、挥发快,不含破坏环境的氟氯烃类化合物,对半导体表面残留物、助焊剂、松香、树脂、油污、指印、灰尘的清洗效果良好。也可用在电子、数码、太阳能工业产品的表面清洗上。本技术获得中国发明专利(ZL 201510593289.7)授权。