专利权人:复旦大学
核心微电子器件是国家急需技术,和国家重大科技专项中的“核高基”专项密切相关。随着金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)逐渐缩小,摩尔定律的微缩速度逐渐变缓。在这种背景下,一旦有新型器件的发明和应用,就可能引起集成电路行业的重大变革,因而国际上对具有重要应用前景的新型信息器件展开了大量研究,已经形成国际热点。科研团队研制出一种新型的微电子器件 ─ 半浮栅晶体管(SFGT),在集成电路先导工艺技术、新型半导体器件等方面开展了系统研究,并取得很多创新性成果。相关研究成果刊登于2013年8月出版的Sci
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