多年来，蒸汽湿度的精确测量一直是影响火电和核电汽轮机安全、经济运行的世界性难题。但是，鉴于汽轮机内湿蒸汽流的特殊状况，当前还没有一种合适的在线测量手段。随着计算机技术、电气测量技术和信号分析处理技术的迅速发展，多学科的融合与交叉，我们提供了谐振腔微扰技术测量蒸汽湿度新方法。微波谐振腔测量蒸汽湿的传感器结构简单，可靠性高，对测量环境要求不高，易于实现现场在线测量。气态水和液态水的介电常数差别很大，蒸汽湿度不同，其中液态水和干蒸汽所占的份额不同，汽液混合物的介电常数也就不同。当温度一定时，对于一定频率的微波，湿蒸汽的介电系数只与蒸汽的湿度有关，使湿蒸汽流过谐振腔，当腔内蒸汽湿度变化时，湿蒸汽的介电常数变化将引起谐振腔谐振频率的改变。以谐振腔作为传感器，通过测量谐振腔谐振频率的变化，可以实现对蒸汽湿度的精确测量。目前，该项研究取得研究成果如下：建立了准确的湿蒸汽等效复介电常数关系式，得到了湿蒸汽介电性质与压力（温度）、微波频率、湿度的关系；在湿蒸汽介电性质研究基础上，基于微波谐振腔微扰理论，建立了蒸汽湿度测量关系式，明确测量数据与蒸汽湿度的函数关系；设计了高精度微波湿度测量系统。分析了元器件精度、稳定性和响应速度对湿度测量的影响；改进了测量系统数据处理方法，采用数据滤波手段，改进了插值和拟合方法，提高了后处理的精度；定量分析了各种干扰因素对湿度测量的影响，相应提出了处理措施，从理论和技术手段上消除或减小其对测量结果的影响，提高了蒸汽湿度测量精度；开发了微波谐振腔蒸汽湿度测量装置，开展了汽轮机排汽湿度测量实验，测量结果与机组热力实验的排汽焓值吻合较好。