专利权人：常州大学

在石油开采、化工领域的反应釜和冶炼塔等的压力测量中，对压力传感器提出了耐高温、微型化、抗腐蚀等要求。采用 SIMOX 技术设计和制作二氧化硅介质隔离的 SOI 力敏元件，针对 0～220℃的工作环境设计装配结构，完成耐高温封装工艺，选用恒流源激励，设计温度补偿电路，完成静态标定，从而获得高性能稳定性佳的耐高温微型油井压力传感器。

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