专利权人:汕头大学
随着封装器件的小型化和高密度化,集成电路中的电子元器件的发热密度越来越高。温度过高会造成电子元器件可靠性降低等问题,热导率成为电子封装基板最重要的性能参数之一。本项目组提出了一种成型陶瓷基板的流延-压延新工艺,以微纳跨尺度混合粒径的氧化铝、氧化锆粉体为基础材料,利用纳米粉在压延塑性生带内的可迁移性,制备出具有大颗粒做骨架、纳米粉做填充的显微排布结构的陶瓷生带。通过模仿一维材料桥接强化导热机理,使连通的大颗粒骨架形成陶瓷基板内的高导热通道,通过纳米粉降低烧结温度,在不添加玻璃助剂的情况下获得烧结温度低、导热
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