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高精度自动化节能光电晶体提拉炉

专利权人:中山大学

(项目简介包括成果概述、技术及产品特点、应用领域、产能及主要经济技术指标、投入需求等)为解决我国晶体制造业研发能力差、技术水平较低、产业化规模有限的难题,经多年不懈努力,研发了具备高自化控制程度,低功耗等特点的高精度自动化节能光电晶体提拉炉。其特点如下:1.自动控制系统晶体自动生长系统具备完整的自动控制和手动控制功能,丰富的操作功能、人机界面合理,符合晶体研究人员的操作要求。在生长过程中可以记录任何选定的技术参数,对晶体生长状况实时监控和记录。可完善晶体生长工艺,监视设备状况,分析异常状况成因,对晶体生长

具体了解该成果信息,请致电:020-84113293

(项目简介包括成果概述、技术及产品特点、应用领域、产能及主要经济技术指标、投入需求等)为解决我国晶体制造业研发能力差、技术水平较低、产业化规模有限的难题,经多年不懈努力,研发了具备高自化控制程度,低功耗等特点的高精度自动化节能光电晶体提拉炉。其特点如下:1.自动控制系统晶体自动生长系统具备完整的自动控制和手动控制功能,丰富的操作功能、人机界面合理,符合晶体研究人员的操作要求。在生长过程中可以记录任何选定的技术参数,对晶体生长状况实时监控和记录。可完善晶体生长工艺,监视设备状况,分析异常状况成因,对晶体生长工艺的改进和复制带来巨大进步。用户只需要进行必要的装料、输入基本数据,之后由系统自动进行下晶、缩颈、放肩、等径、收尾、拉脱、退火等一系列步骤,过程中无需人工介入,调控细致稳定,极大节约人工成本,同时保证了晶体质量均一稳定。2.节能感应加热系统本研究设计的感应加热系统,从感应加热线圈到电源驱动方式都进行了革新,极大提高了能量使用效率,与传统中频电源相比,节能70%以上,且电源体积、重量和占地面积都大大减少。本设备可以在使用相同的感应加热系统(包括感应线圈、坩埚、保温罩、炉壳等)的基础上,不改变设备原本构造,使感应加热磁能集中,大幅提高感应加热效率,同一感应加热设备可高效加热不同规格的坩埚,节约电能和晶体炉设备改造成本。