专利权人:浙江大学
本项目发明了拥有自主知识产权的多项关键技术和装备:1. 揭示了氧化物薄膜制备工艺参数与微纳结构之间的内在联系以及薄膜形成机理,发明了氧化物薄膜微纳结构的可控制备技术;2. 针对不同气候对节能镀膜玻璃多功能化的需求,设计了遮阳系数低于0.5的新型阳光控制和阳光易洁节能镀膜玻璃、辐射率低于0.2的新型透明导电低辐射节能镀膜玻璃,发明了节能镀膜玻璃膜层设计与多层膜复合功能优化技术,实现了节能镀膜玻璃结构设计和膜层参数的宽容量匹配;3. 发明了在浮法玻璃退火窑和锡槽内,移动玻璃表面高效沉积氧化物薄膜的关键工艺技术
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