教育与进修经历：
1983年于合肥工业大学获学士学位；1987年于西安电子科技大学获硕士学位；1991年于东南大学获博士学位，并留校任教。香港科技大学访问学者（1996-1998）；University of California at Berkeley高级访问学者（2017.01-02）。
主要学术荣誉：
国家杰出青年科学基金获得者（2003）；教育部长江学者奖励计划特聘教授（2004）；“百千万人才工程”国家级人选（2006）；IEEE Fellow（2015）。
国际学术兼职：
IEEE Sensors Conference年会TPC委员（2002-2018）；7th IEEE International Conference on NEMS技术委员会共同主席（2012.03，日本，京都）；The Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies领导委员会主席（2012-2014）；TRANSDUCERS TPC委员（2009-2019）；英国《Journal of Micromechanics and Microengineering》编委（2012-）。
国内学术兼职：
中科院传感技术联合国家重点实验室（微系统所、电子所）学术委员会委员；中科院纳米器件重点实验室（苏州纳米所）学术委员会委员；微米纳米加工技术国家级重点实验室（北京大学、上海交通大学）学术委员会委员；清华大学智能微系统教育部重点实验室学术委员会委员；可靠性物理与器件国家级重点实验室（工信部5所）学术委员会委员。中国微米纳米技术学会常务理事；《传感技术学报》主编。
政府服务：
曾任国家“十二五”863计划微纳制造技术主题专家组专家(召集人)、国家“十五”863计划MEMS重大专项总体组专家、国家自然科学基金委员会第13届信息科学学部专家评审组成员、国务院学位委员会第7届学科评议组成员；现任第7届教育部科技委先进制造学部委员、国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项指南编制专家。

工作经历

项目课题经历

     以第一作者或通讯作者发表论文被SCI收录100余篇（其中IEEE期刊40余篇）、SCI他引1000余次；在国际会议发表论文被ISTP收录100余篇（其中7次特邀报告）；主编英文丛书1部（Springer）、中文专著2本、译著8本；获中国发明专利授权100余项；以第一获奖人获教育部自然科学一等奖2项、技术发明一等奖1项，江苏省科学技术一等奖1项。

论文、成果、著作等

     以第一作者或通讯作者发表论文被SCI收录100余篇（其中IEEE期刊40余篇）、SCI他引1000余次；在国际会议发表论文被ISTP收录100余篇（其中7次特邀报告）；主编英文丛书1部（Springer）、中文专著2本、译著8本；获中国发明专利授权100余项；以第一获奖人获教育部自然科学一等奖2项、技术发明一等奖1项，江苏省科学技术一等奖1项。

专利、著作版权等

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