领域：高端装备制造产业 学校：复旦大学职称：教授
先进集成电路工艺，如原子层沉积(ALD)纳米级功能薄膜
新型氧化物半导体材料与器件，如薄膜晶体管
新型微纳结构MEMS器件，如光电、气体、生物传感器及能源器件
混合信号和存储器的集成电路设计
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复旦大学，微电子学与固体电子学，博士学位
2010年7月-至今复旦大学，副教授、教授
2007年11月-2009年11月东京大学工学部，JSPS研究员
2006年09月-2007年10月意大利微电子材料与器件国家实验室，博士后
