领域：高端装备制造产业 学校：复旦大学职称：教授
集成电路先进材料、工艺与器件研究，特别是集成电路MOS器件源漏栅接触技术方面的研究
先进铜互连技术，纳米新型器件研究
功率半导体器件研究
柔性器件研究
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复旦大学，微电子学与固体电子学，理学博士
2011年04月-至今复旦大学，微电子研究院，教授
2006年04月-2011年03月复旦大学，微电子研究院，副研究员
2005年07月-2006年03月复旦大学，微电子研究院，讲师
