领域：高端装备制造产业 学校：复旦大学职称：教授
先进半导体芯片制造用的高端光刻胶、光刻材料和相关工艺集成的研究（微电子方向）
90nm～5nm节点高端半导体光刻材料的研发
探索Moore’s Law的材料极限，研发下一代10～5 nm分辨率的光刻材料DSA
研究DSA的图像化工艺和plasma刻蚀工艺
纳米器件的设计和加工
纳米材料的精密设计和合成 （材料方向）
新型纳米材料、器件的研发，序列可控聚合物及其纳米复合材料的研究
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具体了解该专家信息，请致电：027-87555799 邮箱 haizhi@uipplus.com
1997年-1998年University of California, Berkeley, Chemistry Dept. 化学系，博士后
1996年-1996年美国University of Akron, Polymer Science 高分子系，博士后
1992年-1995年日本Tokyo institute of technology 高分子化学，博士
1990年-1992年日本京都大学，高分子化学硕士
1984年-1988年中山大学，有机合成学士
