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刘永新

领域:高端装备制造产业 学校:大连理工大学职称:教授

长期从事低气压射频等离子体的实验诊断与计算机模拟研究工作...

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教育背景

2008.9 - 2013.10 大连理工大学 等离子体物理 博士

工作经历

2013.10 - 至今 大连理工大学 讲师

项目课题经历

先后主持/参与科研项目10余项,包括: - 国家基金委优秀青年基金1项(主持); - 国家自然科学基金面上项目1项(主持); - 国家自然科学基金青年项目1项(主持); - 国家自然科学基金重点项目2项(参与); - 国家科技部重大科技专项1项(参与); - 国际科技合作项目1项(主持)等。

论文、成果、著作等

在SCI 收录的国际学术期刊上发表论文近50 篇,其中第一/通讯作者论文20 篇(包括3篇Phys. Rev. Lett.、7篇Plasma Sources Sci. & Technol.、1篇Appl. Phys. Lett.),并取得了一些创新性的研究成果,如实验上首次观察到容性放电中的“电子反弹共振加热”现象、“辉光条纹”现象,以及“非线性驻波效应”等,以第一/通讯作者的身份,3项研究成果均发表在物理学顶级期刊Phys. Rev. Lett.上。这些研究成果不仅推动了国际上射频等离子体物理过程的研究,而且为实际半导体芯片制造工业中等离子体工艺过程的优化提供了科学参考。

专利、著作版权等

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