教育背景
工作经历
曾任哈尔滨工业大学助教、讲师、副教授；曾任日本理化研究所Frontier Project研究员，日本Nikon公司高级工程师等
项目课题经历
负责和承担国家中长期科技重大专项课题或子课题5项、国际合作项目3项。负责或参与完成的国内外项目26项（包括日本Nikon、NEDO &SET、Mentor Graphic项目，国家863， 973、自然基金重点和面上项目、中科院创新项目，人才奖励基金资助项目等）
论文、成果、著作等
个人及合作发表的学术论文近200篇，其中被SCI和 EI收录140余篇
专利、著作版权等
申请发明专利100余项（已授权70余项），光刻仿真软件版权7项，参编（篇主编）中国电气工程大典MEMS技术一章，论文参编中国科技经典文库
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