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汪学方

领域:高端装备制造产业 学校:华中科技大学职称:副教授

MEMS芯片如压力传感芯片、流量传感芯片、真空传感芯片等...

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教育背景

工作经历

项目课题经历

论文、成果、著作等

      先后主持了国家自然科学基金“陶瓷材料微波辅助塑性切削技术的基础研究”1项(编号50545012),863计划MEMS专项“低成本、高性能真空熔焊封装关键技术及装备的研究”(编号:2005AA404260)和“长寿命MEMS圆片级真空封装技术的研究”(编号:2008AA04Z307)2项。参加了02专项“高密度三维系统级封装的关键技术研究”
      2009年在项目“系统封装、测试的若干关键技术及装备”中作为第四完成人获得中国电子学会电子信息科学技术奖二等奖(证书号:KJ2009-2-06-R04)

代表性著作:
1. Xuefang Wang;Chuan Liu;Zhuo Zhang;Sheng Liu;Xiaobin Luo,A micro-machined Pirani gauge for vacuum measurement of ultra-small sized vacuum packaging, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 161: 108-113,2010 JUNE 2010
2. S. Shi, X. Wang, C. Xu, J. Yuan, J. Fang, S. Liu, Simulation and fabrication of two Cu TSV electroplating methods for waferlevel 3D integrated circuits packaging, Sensors and Actuators A: Physical, Volume 203, 1 December 2013, Pages 52–61.(通信作者)         
3.Shengwei Jiang,Shuai Shi,Xuefang Wang.Nanomechanics and vibration analysis ofgraphene sheets via a 2D plate model.Journal of Physics D: Applied Physics. 2014, 47(4): 045104(通信作者)

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