承担的科研项目：
1. 国家自然科学基金面上项目，51775217，基于离焦扫描穆勒显微镜的纳米结构缺陷检测理论与方法研究，2018-2021，60万元，在研，主持。
2. 国家自然科学基金青年基金，51405172，纳米结构几何参数广义成像椭偏测量理论与方法研究，2015-2017，25万元，已结题，主持。
3. 湖北省自然科学基金面上项目，基于层析穆勒矩阵散射仪的三维纳米结构测量理论与方法研究，2018CFB605，2018-2019，5万元，在研，主持。
4. 华中科技大学-精测集团联合研发项目，纳米结构关键尺寸测量与缺陷检测关键技术研究，2019-2021，500万元，在研，主持。
5. 国家自然科学基金重大科研仪器研制项目，51727809，高分辨层析成像穆勒矩阵椭偏仪研制与应用基础研究，2018-2022，701万元，在研，参与。
6. 国家科技重大专项子课题，2017ZX02101006-004，套刻误差光学测量技术研究，2017-2020，742万元，在研，参与。

近期学术论文：
[1]     H. Gu, X. Chen*, H. Jiang, Y. Shi, and S. Liu, "Wide field-of-view angle linear retarder with ultra-flat retardance response," Opt. Lett. 44, 3026-3029 (2019).
[2]    X. Chen*, J. Liao, H. Gu, Y. Shi, H. Jiang, and S. Liu, "Proof of principle of an optical Stokes absolute roll-angle sensor with ultra-large measuring range," Sens. Actuat. A 291, 144-149 (2019).
[3]    C. Chen, X. Chen*, H. Gu, H. Jiang, C. Zhang, and S. Liu, "Calibration of polarization effect of a high-numerical-aperture objective lens with Mueller matrix polarimetry," Meas. Sci. Technol. 30, 025201 (2019).
[4]    Z. Yang, X. Chen*, H. Jiang, and S. Liu, "In-line wavefront aberration adjustment of a projection lens for a lithographic tool using the dominant mode method," Appl. Opt. 58, 4176-4184 (2019).
[5]    H. Gu, X. Chen*, Y. Shi, H. Jiang, C. Zhang, P. Gong, and S. Liu, “Comprehensive characterization of a general composite waveplate by spectroscopic Mueller matrix polarimetry,” Optics Express 26(19), 25408-25425 (2018).
[6]    C. Chen, X. Chen*, Y. Shi, H. Gu, H. Jiang, and S. Liu, “Metrology of nanostructures by tomographic Mueller-matrix scatterometry,” Applied Science 8(12), 2583 (2018).
[7]    Y. Tan, C. Chen, X. Chen*, W. Du, H. Gu, and S. Liu, “Development of a tomographic Mueller-matrix scatterometer for nanostructure metrology,” Review of Scientific Instruments 89, 073702 (2018)

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