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生长无缺陷可控半导体量子点的设备

行业分类:智能装备地区:0联系人:彭长四

融资: 面议    

半导体器件所需外延材料经历了从体材料、量子阱到量子点材料三个台阶的发展过程,每前进一个台阶,器件性能要提高一个以上数量级。体材料和量子阱材料器件已经在诸如CPU、LED、...

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半导体器件所需外延材料经历了从体材料、量子阱到量子点材料三个台阶的发展过程,每前进一个台阶,器件性能要提高一个以上数量级。体材料和量子阱材料器件已经在诸如CPU、LED、数码相机等大规模产业化,产生了上万亿的产值。但是,量子点器件依然停留在实验室。传统量子点的制备有两种技术:自组织生长和常规定位生长。(1)自组织生长:自组织量子点不引入缺陷。但是,是随机和不可控的。(2)常规定位生长:纳米图形化衬底外延生长的量子点是可控的。但是,图形化处理使得量子点充满了缺陷。未见有成功的器件报道。这些缺点,很难通过技术进步来克服,二者优点不能共存。这些缺点是目前量子点技术产业化应用不可逾越的瓶颈。我们通过将直写激光干涉纳米图形化(DLINP)实时、原位地与半导体材料常规外延技术—分子束外延(MBE)结合起来,设计、制备了国际上首个DLINP-MBE工程化样机,成功生长1D、2D长程有序、可控、无缺陷的量子点阵列。解决了半导体外延量子点“低缺陷密度”与“可控”不可兼得的问题。该成果国际上尚无相关报道。该技术已经获得中国(ZL 2011 1 0224270.7、ZL 2011 1 0178877.6)和美国(US 8,969,185 B2)发明专利授权和PCT保护(PCT/CN2012/078013),欧盟和日本的发明专利申请正在审理中。有望解决量子点技术产业化应用的瓶颈,使得该技术生长的量子点能够实现产业化应用。该研究将在纳米电子器件、单光子器件、单电子器件、量子通讯和量子计算、高转换率多激子太阳能电池等领域有着广泛的应用前景。