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《高品质因子、高共振频率的扫描器与极小曲率半径的针尖二合一的适用于扫描探针显微镜的带针尖的微悬臂梁扫描器》

行业分类:智能装备地区:0联系人:李全锋

融资: 面议    

该“带针尖的微悬臂梁扫描器”,即可用于STM,也可用于原子力显微镜(AFM)等SPM。(1)当用于STM时,可以同时实现扫描器(scanner)和探针(Probe)的双重功能。且扫描器具有:①共振频率很高、共...

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该“带针尖的微悬臂梁扫描器”,即可用于STM,也可用于原子力显微镜(AFM)等SPM。(1)当用于STM时,可以同时实现扫描器(scanner)和探针(Probe)的双重功能。且扫描器具有:①共振频率很高、共振频率范围很宽。10kHz~1000kHz,足以满足快速STM对扫描器的需要。②其品质因子在真空下可以达到几千甚至上万。具有很低的噪音、很低的能耗和很高的稳定性。③体积小。仅有0.1毫米量级,其驱动装置不大于5毫米,节省宝贵的测试空间。针尖可以实现:①针尖的曲率半径可以小到2纳米左右。可以提高STM的分辨率和图像清晰度。②具有良好的导电性。表面的铂铱合金导电性能良好。③体积极小,仅有几微米。节省宝贵的极端环境下STM的测试空间;④且可以通过光刻、腐蚀等微纳技术的工业化流程制作。制作效率高,可批量生产,节约宝贵的科研时间。⑤其生产成本与普通的AFM探针相同,甚至更低。(2)用于AFM等测力类SPM时,可以拓宽AFM探针的种类和应用领域。总之,(1)该设计在不提高原来的AFM探针的成本的基础上,同时具有了高性能的STM带针尖的扫描器和新兴功能的AFM探针的功能。(2)便于工业化生产,解决了当前科研人员自主设计和制作探针和扫描器时,存在的①消耗时间长,②性能不够出色的困扰,具有很大的商业化前景。