目前已有的电容位移传感器主要有变极距型电容传感器和变面积型电容传感器两大类，而以上两种传感器的灵敏度和精度都比较低，要达到较高测量精度必须增大极板面积，这不仅成本极高，体积上也难以微型化，并且无法测量工作台的真正运动状态。本项目通过压电陶瓷驱动电源使压电陶瓷工作推动电容位移传感器（测头）产生纳米位移，并通过电感测微仪测出具体产生的位移数值。另一方面，所设计的测头是差动式多层环状极板和并联电容，累加面积变化量，通过CAV444电容转换电压电路得到电压变化量，最后将得到的电压变化值与位移值绘制数据曲线并进行拟合等数据处理。项目研发显著提高测量精度、加大量程、降低成本、同时使得传感器实现微型化。目前市场上的电容位移传感器作为成熟的商品数量较少，并且价格很高，小则好几千，大则上万甚至十几万人民币，课题组所研究的结构新颖的高精度电容位移传感器所具备的测量优势量程、精度、稳定性等各方面均领先国际水平，并且预估成本不超1000块人民币，具有成本低的优势。项目适用于压电微位移、振动台、电子显微镜微调、天文望远镜镜片微调、精密微位移测量等，项目成果在2016年9月中国（国际）传感器创新创业大赛获三等奖。