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铜铁矿结构铜铬氧纳米晶膜的简单化学制备法

行业分类:其他新材料技术地区:0联系人:韩美杰

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1、项目背景在透明导电信息功能材料中,绝大多数常见是n型半导体,但为了有源器件和真正意义上“透明器件”的制备,p型透明导电功能材料是亟待研究与解决的问题。铜铁矿结构的铜...

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1、项目背景在透明导电信息功能材料中,绝大多数常见是n型半导体,但为了有源器件和真正意义上“透明器件”的制备,p型透明导电功能材料是亟待研究与解决的问题。铜铁矿结构的铜铬氧(CuCrO2)作为本征p型透明导电氧化物,属于宽禁带光电子信息功能材料,具有紫外截止,可见光区和红外光区高度透明的光学特性,因而可满足透明器件及红外器件中所要求的抗静电、除雾、防尘等作用。对铜铁矿材料而言,Cu1+离子具有不稳定性,且铜铁矿相制备过程中对氧压极其敏感,因此可通过物理类真空沉积技术制备铜铁矿薄膜。代表性的有日本东京工业大学Hosono的研究小组和美国俄勒冈州立大学Tate小组,他们研究使用的铜铁矿薄膜样品均为物理类真空技术制备。物理类真空薄膜制备技术所需设备昂贵,制备工艺复杂,能耗高,不利于大规模工业化生产,也不便于薄膜光电特性的灵活调控。因此,若能利用工艺简单、成本低廉、无需昂贵设备的化学法制备出性能优越的CuCrO2纳米晶膜,对其工业化生产和有源器件的制造具有重要意义。2、技术创新点本技术的优点在于,铜铬前驱液采用乙醇和乙二醇的混合溶液做溶剂,利于形成稳定的前驱液,也利于旋涂成膜的均匀性。选用蓝宝石作为薄膜生长的衬底材料,是根据晶格匹配的原理,这利于纯相CuCrO2纳米晶膜的生长。CuCrO2纳米晶膜的制备是在N2氛围中退火而成。N2氛围中快速退火既避免了其他气体对样品的污染,又可以造成缺氧氛围,帮助二价铜离子向一价转变,提高CuCrO2纳米晶膜的纯度,优化了薄膜质量。该制备方法采用两步退火法:先将薄膜在较低温度下退火使其去掉溶剂以及部分有机物,形成比较稳定的非晶或微晶状态的结构,再在较高温度下快速退火使其完全反应并结晶。两步退火优化了晶膜表面的致密性,避免了直接高温退火导致的铜相关氧化物的流失。3、技术的实用性和适用领域 铜铁矿结构铜铬氧纳米晶膜的简单化学制备法,包括以下步骤:(1)铜铬前驱液配置:将含铜化合物和含铬化合物加入有机溶剂中配成前驱液。含铜化合物可以是醋酸铜、硝酸铜等,优选醋酸铜;含铬化合物可以是硝酸铬、醋酸铬等,优选硝酸铬;有机溶剂可以是乙醇、乙醇胺、乙二醇、乙二醇甲醚,优选乙醇和乙二醇的混合溶液。含铜化合物和含铬化合物按铜元素和铬元素的摩尔比1:1配置,乙二醇和乙醇的混合溶液的体积比为1:3~6,在混合溶液中再额外添加乙醇胺时,则乙醇胺和铜元素的摩尔比为1:1~4。配置后整个溶液中的金属离子的摩尔比在0.4~0.8mol/L。少量的乙醇胺主要是用于改善薄膜表面的致密性。作为一个优选方案,铜铬前驱液配置具体包括:醋酸铜和硝酸铬按1:1摩尔比称量后,先将硝酸铬加入乙醇和乙二醇3:1的混合溶液中,搅拌至完全溶解后加入醋酸铜搅拌得到深蓝色前驱液,然后加入适量乙醇胺搅拌静置待用。(2)旋涂成膜:采用匀胶机将铜铬前驱液均匀旋涂于清洗过的蓝宝石衬底上,旋涂时间为20-40 s,转速3000-5000 r/min。(3)低温退火:经旋涂成膜后,将薄膜在200-300℃空气氛围下退火3-5分钟。低温退火可以去掉溶剂及部分有机物,形成比较稳定的一层非晶或微晶状态的薄膜。作为进一步的优选方案,为了得到适当的薄膜厚度,所述旋涂成膜步骤和所述低温退火步骤可以多次重复,最好是重复6~8次。(4)高温热处理:将低温退火后的样品在600~800℃氮气氛围中退火20-50分钟,氮气的流量保持在1.5-3 L/min,得到蓝宝石衬底上的可见光区和红外光区透明的CuCrO2导电晶膜。为了使快速退火炉中的氮气氛围达到实验需求,样品高温热处理前,可提前通纯氮气30分钟。4、知识产权情况2016110515906 铜铁矿结构铜铬氧纳米晶膜的简单化学制备法2015109200775 铜镓氧红外透明导电纳米晶膜的制备方法相关技术专利正在申请。