在制备FTO透明导电薄膜的方法中，溶胶凝胶法（sol-gel）具有工艺简单，价格低廉，反应温度低，易于实现多组分均匀掺杂等优点，因此近年来受到广泛关注。但是，在溶胶凝胶的制备过程中，会将Cl-、Na+，Ca+等杂质离子带入FTO薄膜，对薄膜性能产生不利影响。本发明的目的是提供一种防止在溶胶凝胶制备FTO薄膜的过程中，带进阴阳杂质离子，进而提高薄膜性能的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法。以凝胶再溶解与隔离层法相结合，氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜电阻率可以达到6.6X10-3Ω•cm，透射率大于80%。