本展品项目来源于“国家自然科学基金-青年科学基金项目-压电驱动系统的动态迟滞非线性分析与高速精密定位技术的研究”,项目编号:51405235。 本展品提出了一种基于电荷控制的压电陶瓷驱动电源。基于开关电源设计压电驱动器的电压驱动型驱动电源。通过对叠堆式压电驱动器两端附加上下两层电极板,从而测量感应电荷来确定压电驱动器上的电荷量,如图1: 从压电驱动器输出位移与其上电荷量的线性关系出发,进一步做电荷反馈,用PWM调试修正驱动电源的输出,从而有效地控制输出位移的精确性,如图2。 本展品能对压电驱动器的输出位移进行有效的线性控制,提高了控制精度,同时不用通过位移传感器进行位移反馈,提高了经济效益,能有效地应用于微、纳米级别的精密驱动技术。 该展品主要应用于精密驱动方面,而精密驱动技术作为纳米科技的关键技术之一,在微电子制造、光电子技术、航天技术、超精密加工、生物医学工程、原子力显微镜等领域,都起着举足轻重的作用。