类金刚石薄膜（diamond-like carbon, DLC）是一种亚稳态的非晶碳膜，其结构、物理化学性质接近于金刚石。作为一种新型的硬质薄膜材料具有一系列类似于金刚石的多种优异性能，如高硬度、低摩擦系数、高耐磨耐蚀性、高热导率、在可见到紫外光范围内透明、良好的绝缘性和化学稳定性、优异的生物兼容性及表面光滑等，可广泛用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域。性能指标： 本项目通过物理气相沉积方法制备的类金刚石薄膜具备质量稳定，与基体结合强，硬度、弹性模量、摩擦系数和透光性可调控，耐摩擦磨损和热稳定性好等综合优良性能。薄膜厚度可从几十纳米到几个微米，硬度可高达40GPa，摩擦系数可低达0.15，表面光滑平均粗糙度在5纳米以下，摩擦磨损过程中具有自润滑作用。制备工艺方法具有成膜速率高，可实现低温、大面积沉积。所制备的类金刚石薄膜，与金刚石相比具有更高的性能价格比。