针对传统加工技术无法实现的零部件微细加工制造，研究开发出激光精密微细加工技术及工艺装备，可以实现微孔、微槽、微细结构特征等微机电系统（MEMS）零部件的精密微细加工制造。随着我国制造业的快速发展，传统加工技术及装备无法实现的加工制造，采用激光制造技术可以实现，因此激光切割、焊接、打标和热处理等得到了发展应用，然而激光精密微细加工技术及装备目前仍然研究和应用较少，未来有望得到快速发展和应用。