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基于锰掺杂氮化铜薄膜的可见光探测器

行业分类:大数据与通讯地区:0联系人:李兴鳌

融资: 面议    

本研究属于光电探测技术领域,提供一种基于锰掺杂氮化铜薄膜的可见光探测器。所述的可见光探测器由衬底1、底电极2、可见光吸收层3和顶电极4组成,可见光探测器为最简单的三明治...

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本研究属于光电探测技术领域,提供一种基于锰掺杂氮化铜薄膜的可见光探测器。所述的可见光探测器由衬底1、底电极2、可见光吸收层3和顶电极4组成,可见光探测器为最简单的三明治结构,可见光吸收层3为锰掺杂氮化铜薄膜,位于底电极2和顶电极4之间。其制造方法为,首先将透明导电玻璃刻蚀,形成20px宽的透明导电窄条,然后利用磁控溅射技术沉积锰掺杂氮化铜薄膜,最后用磁控溅射或者蒸发蒸镀的方法沉积金属顶电极4,便得到基于锰掺杂氮化铜薄膜的可见光探测器。该可见光探测器拥有良好的光响应度、持久可重复跳变性能、快速的响应时间,且结构简单,制作成本低,原料丰富易得,制造方法简单,采用磁控溅射和蒸镀技术,可以规模化生产。