本发明涉及一种用于三氟化氮无水分解反应的氧化铝基脱氟剂及其应用方法，脱氟剂由氧化铝和金属助剂氧化物组成，其中金属助剂的质量占氧化铝质量的0—10％，优选组成中金属助剂的质量占氧化铝质量的5—10％。本发明提供金属助剂为钴、铁或镍，最好为钴。本发明还提供上述脱氟剂的应用方法：将含有NF3的废气引入到反应炉中，加入氧化铝基脱氟剂，气体空间流速1.5 升/小时/克，反应温度300-400℃，优选温度400℃。