本发明涉及一种六氟化硫废气的处理方法，先将六氟化硫废气引入含有脱氟剂的反应炉中，进行六氟化硫裂解反应，得到反应尾气和反应尾渣，其中，脱氟剂为氟化钠、硅粉、金属氧化物组成的混合物；再将反应尾气通入水中，进行过滤和干燥，得到粉末状硫磺。本发明选择在无水条件下将六氟化硫与固态脱氟剂混合，发生反应使六氟化硫分解，六氟化硫分解率高，并且不产生氟化氢、三氧化硫等腐蚀性气体，对反应器无腐蚀作用，操作简单安全，同时六氟化硫裂解反应尾气通入水中，生成的硫磺蒸汽遇水冷凝，简单过滤、干燥后，得到粉末状硫磺，六氟化硫中的硫资源得到充分的回收再利用。