项目涉及一种全氟碳化物气体的协同去除系统。该系统包括在待处理气体输入口设置的流量控制器通过管路连接到反应管，反应管内部通过微波产生等离子体，按照气体流入方向在等离子体后部设置催化剂，采用等离子体与催化剂协同处理全氟碳化物气体。本发明具有脱除效率高，能耗低的特点。 本发明可以开发用于各种难降解的有害气体脱除装置，催化化学合成或分解反应装置等。已开发的对半导体行业排出的全氟碳化物（PFCs）的协同分解装置，可分解气体包括 PFCs（CF4；CHF3；C3F8；C4F8；C5F8；C4F6；C2F6；C3F8）SF6, VOCs等，总分解率可以达到98%以上。