高能激光系统中，反射镜镜面热变形会使系统的输出光强和波前分布不均匀性加剧， 从而导致输出光束质量的下降。本项目在分析激光腔镜热变形行为的基础上，采用优化镜体结构，设计了一种减少入射激光光斑区域镜面热畸变的途径——热畸变自补偿激光反射镜。本项目采用先进薄膜制备技术，让光斑区域镜面发生微小热平移，而不引起整体光束相位热畸变。该技术可以有效减少镜面初始瞬态热畸变，尤其适用于激光器出光初始阶段光束质量要求比较高的情况。