光纤MEMS压力传感器结合MEMS技术设计，直接采用光纤和光纤法兰盘制作传感器。硅膜既作为压力敏感膜，又与光纤端面形成F-P腔。制成的传感器具备体积小、成本低、灵敏度高和易于批量生产等优点。传感器采用相位解调法，提高了压力测量的灵敏度和精度，可用于在线测量。 随着科学技术的发展，MEMS已具有相当的稳定性和可靠性。光纤询问式MEMS压力传感器采用全光信号的传感头设计，使得该传感器同时具有了光纤传感器和MEMS传感器的优点：体积小、重量轻、反应快、灵敏度高、成本低以及抗电磁干扰、保密性能好等。这些优点使得该传感器在石油化工以及航天航空领域有着广泛的应用前景。该项目处于国际先进水平，目前在国外主要是日本、美国等国家在进行该类产品的开发。